擇良辰選吉日，2024年5月20日上午10點16分，天仁微納納米壓印中試平臺一期（NTS?Center?-?Nanoimprint?Total?Solution?Center）百級超凈間啟用儀式圓滿舉行！納米壓印中試平臺（一期）超凈間面積約1600平，包括百級、千級和萬級等級，設備近百臺，總投資數億元。設備包含30多臺天仁微納自產各種型號的納米壓印設備，壓印種類從熱壓印、transfer?Printing到紫外壓印，壓印方式從輥壓到面壓到SR步進式壓印，基材尺寸包含wafer?pieces到2/3/4/6/8/12寸，面板級G2和G5尺寸，設備類型包含手動上下片、cassette?to?cassette自動上下料設備，以及包含從晶圓清洗、plasma處理、涂膠、熱處理、自動復制工作模具、自動對位、壓印、固化、脫模等全工序流程的納米壓印cluster生產線設備（3臺）；
除此之外，各種壓印工藝配套、表征設備齊全，包括晶圓全自動RCA、有機清洗、Plasma、HMDS、模具抗粘處理等預處理設備，各種涂膠設備spin-coating半自動設備8臺，全自動3臺，ink?jet?printing，slot?die?coating，slit?coating、微透鏡自動點膠等設備；納米壓印模具制造設備包含電子束光刻、激光直寫、mask?aligner、激光干涉曝光、ICP、RIBE、去膠機、ALD、電鑄翻模、晶圓鍵合等；表征設備包括SEM、AFM、共聚焦、FIB、橢偏儀、膜厚儀、臺階儀、水滴角測試儀等；
天仁微納NTS?Center應該是目前全球范圍內納米壓印細分領域設備和配套工藝設備最全的中試平臺，天仁微納在該平臺配備超過50位資深工藝工程師為客戶提供技術支持、材料knowhow以及項目經驗，該中試平臺的目標是讓客戶以極低的成本將使用納米壓印相關技術的創新產品想法在該平臺得以實現，從prototype到產品中試，驗證天仁微納納米壓印設備性能，為客戶未來的產品量產打通最后一公里。